Pripravljanje tankih filmova postupkom magnetronskog rasprašenja na CMS-18 sustavu

Institut Ruđer Bošković (IRB) nudi uslugu pripravljanja tankih filmova postupkom magnetronskog rasprašenja na CMS-18 sustavu. Uređaj pruža široke mogućnosti za pripravljanje poznatih ili novih materijala i struktura u obliku tankih filmova.

 

TRŽIŠNA PRILIKA

Sa svoja četiri magnetronska izvora uređaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.
Materijali pripravljeni na CMS-18 mogu biti izuzetno zanimljivi proizvođačima tehnološki naprednih proizvoda a posebno proizvođačima medicinskih implantata i opreme, platinskih otpornih termometara, alata poboljšanih mehaničkih osobina i alata za rad u korozivnim medijima.

CMS-18 uređaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) 

TEHNIČKI OPIS UREĐAJA

Komora za depoziciju (SS 316) promjera 45 cm, visine 50 cm. Rezidualni tlak 10-8 mbar. Pretkomora za manipuliranje podlogama bez narušavanja vakuuma u procesnoj komori. Četiri magnetrona TORUS®3, svaki sa svojim napajanjem - 2 istosmjerna magnetrona (0,5 KW DC & 1,0 KW DC) + 2 radiofrekventna magnetrona (2 x 600 W RF). Jedan magnetron sa ugrađenom posebnom konfiguracijom magneta za rasprašenje feromagnetnih materijala. Nosač podloga za depoziciju veličine do 150 mm promjera, promjenjive udaljenosti od magnetrona. Omogućava rotaciju podloge (do 40 rpm), grijanje do 800°C ili hlađenje na LN2 temperaturu in situ, te DC ili RF električnu polarizaciju u odnosu na plazmu izboja. Uređaj može raditi uz nezavisno uvođenje dva reaktivna plina za reaktivnu depoziciju - kemijsku sintezu tijekom depozicije.   
Postupci pripravljanja: jednostavna depozicija iz jednog izvora (sa jednostavnom ili složenom metom), kodepozicija iz dva ili više izvora, sekvencijalna depozicija slojevitih struktura (korištenjem zaslona), i reaktivna depozicija.

PONUDA USLUGE

Tvrtke zainteresirane za pripravu poznatih i novih materijala u obliku tankih filmova te i znanje i iskustvo znanstvenika IRB-a neka se slobodno jave Ruđer inovacijama.

Dokument u pdf formatu preuzmite ovdje: RI-SM-WP-09-101v03-DA-Radic-CMS-18.pdf

KONTAKT OSOBA ZA KOMERCIJALNU SURADNJU: 

Davor Aničić, dipl.ing.
voditelj razvoja poslovanja
Ruđer inovacije d.o.o.
Bijenička 113
10000 Zagreb, Hrvatska
T 01 2360 236
M 091 4040 146
F 01 2347 811
E Ova email adresa je zaštićena od spam robota, nije vidljiva ako ste isključili Javascript
www.r-i.hr

KONTAKT OSOBA ZA ZNANSTVENU SURADNJU:

Dr.sc. Nikola Radić
Institut Ruđer Bošković
Bijenička 54, Zagreb, Hrvatska
T +385 1 4680 224       
Ova email adresa je zaštićena od spam robota, nije vidljiva ako ste isključili Javascript
W www.irb.hr